合肥科晶EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀

合肥科晶EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀

產(chǎn)品概述：

EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀是采用石英晶體振蕩原理，結(jié)合先進(jìn)的頻率測量技術(shù)，進(jìn)行膜厚的在線監(jiān)測。主要應(yīng)用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設(shè)備的薄膜制備過程中，對膜層厚度及鍍膜速率進(jìn)行實(shí)時監(jiān)測。根據(jù)實(shí)時速率可以輸出PWM模擬量，作為膜厚傳感器使用，與調(diào)節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制。

合肥科晶EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀

• 主要特點(diǎn)：
  本機(jī)可與計算機(jī)連接。

• 顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優(yōu)點(diǎn)，可直觀顯示所測的膜厚、速率、頻率、PWM  

• 控制輸出的百分比等工作狀態(tài)。

• 通過軟件或顯示儀可對門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數(shù)、輸出量程及通訊參數(shù)等進(jìn)行設(shè)置，并可將所測相關(guān)數(shù)據(jù)寫入Excel文件。

• 具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優(yōu)點(diǎn)。

EQ-TM106-1監(jiān)測組件：

• 電源：DC5V（±10%），大電流400mA

• 頻率分辨率：±0.03Hz

• 膜厚分辨率：0.0136?（鋁）

• 膜厚準(zhǔn)確度：±0.5%，取決于過程條件，特別是傳感器的位置，材料應(yīng)力，溫度和密度

• 測量速度：100ms-1s/次，可設(shè)置

• 測量范圍：500000?（鋁）

• 標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體：6MHz

• 計算機(jī)接口：RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置，數(shù)據(jù)位：8，停止位：1，校驗(yàn)：無）

• 模擬輸出：8比特分辨率，PWM脈寬調(diào)制輸出（集電極開路或內(nèi)部5V輸出）

• 工作環(huán)境：溫度0-50℃，濕度5%-85%RH，不得有冷凝水珠

• 外形尺寸：90mm×50mm×18mm

EQ-TM106-2顯示儀：

• 輸入電源：AC 220V±10%

• 輸出電源：DC   5V  3A

• 顯示器：12×2數(shù)碼管與LED

• 通訊端口：RS-485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置，數(shù)據(jù)位：8位，停止位：1位 　，奇偶校驗(yàn)：無）

• 外形尺寸：182mm×65mm×160mm

EQ-TM106-3探頭：

• 適用晶片頻率：6MHz

• 適用晶片尺寸：Φ14mm

• 安裝法蘭：CF35

• 冷卻水管：Φ3mm，長度300mm、500mm、1000mm

• 冷卻水壓：<0.3MPa

• 氣動擋板路管：Φ3mm

壓縮空氣壓力：烘烤溫度：通水狀態(tài)<200℃，不通水狀態(tài)法蘭<100℃

電氣接口：BCN插座

標(biāo)準(zhǔn)配件：1EQ-TM106-1監(jiān)測組件1個2EQ-TM106-2顯示儀1臺3EQ-TM106-3探頭1個